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免训练提示框架借多模态模型实现晶圆图六类缺陷分类

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AI 综述

研究者(Tianjian Cao 等,论文 arXiv:2610.35080)提出一种免训练的六类晶圆图缺陷分类框架:对冻结的大型多模态模型使用结合连通域高亮与形态、位置、排除规则的提示词,无需标注数据和再训练。在 Mixed-WM38 数据集(6,866 张图)上达到 92.9% macro 和 93.8% 总体准确率;在 WM811K(9,000 张图)上分别为 79.1% 和 81.3%。 消融实验显示,八种替代规则顺序的总体准确率为 90.1%–91.9%,低于所选规则顺序的 93.8%。

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报道时间线

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10月26日
  1. arXiv · cs.AI
    基于规则排序提示词的晶圆图零样本多类别分类:免训练框架借助大型多模态模型实现

    研究者提出一种免训练的六类晶圆图缺陷分类框架,将连通域高亮与融合形态、位置和排除规则的提示词结合,用于冻结的大型多模态模型,无需标注数据和再训练。在 Mixed-WM38 数据集(6,866 张图)上达到 92.9% macro 和 93.8% 总体准确率;在 WM811K(9,000 张图)上分别为 79.1% 和 81.3%。消融实验显示八种替代规则顺序总体准确率为 90.1-91.9%,低于所选顺序的 93.8%。

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